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氫燃料電池ALICAT耐腐蝕氣體質量流量計，使用質量流量控制器測量和控制從0.5 SCCM到5000 SLPM的氣體流量，精度為讀數的±0.5%或滿量程的±0.05%，控制范圍為0.01-100%（10000:1）。
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